近日，易度儀器收獲喜訊，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計(jì)系列產(chǎn)品，通過(guò)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院的計(jì)量器具型式評(píng)價(jià)試驗(yàn)，獲得中國(guó)首個(gè)層流質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量器具型式批準(zhǔn)資質(zhì)證書(shū)（簡(jiǎn)稱(chēng)CPA證書(shū)）。產(chǎn)品精度達(dá)到國(guó)家可批準(zhǔn)最高級(jí)別1.0級(jí)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時(shí)間0.01S。
一直以來(lái)，小微氣體、液體流量的精確測(cè)量和控制被西方發(fā)達(dá)國(guó)家技術(shù)壟斷，這項(xiàng)技術(shù)在眾多高端制造領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)和誕生，是公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國(guó)內(nèi)一流的專(zhuān)家學(xué)者等組成研發(fā)團(tuán)隊(duì)，面對(duì)國(guó)外技術(shù)封鎖，自2011年以來(lái)恪守流體測(cè)控領(lǐng)域，自主創(chuàng)新，不懈努力的結(jié)晶。
苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界難題
2011年，這個(gè)以“80后”為主力軍的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開(kāi)始向國(guó)外先進(jìn)技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)，當(dāng)時(shí)國(guó)外進(jìn)口的設(shè)備獨(dú)步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷，國(guó)內(nèi)只有個(gè)別廠(chǎng)商可以生產(chǎn)一些低端產(chǎn)品，精度低，重復(fù)性差，只能配套于低端產(chǎn)業(yè)，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開(kāi)了國(guó)外的設(shè)備，也難以突破。無(wú)數(shù)事實(shí)表明：試圖通過(guò)仿制國(guó)外先進(jìn)產(chǎn)品的路是走不通的。從研發(fā)一開(kāi)始，易度團(tuán)隊(duì)就清醒地認(rèn)識(shí)到，高端精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，只有通過(guò)自主創(chuàng)新，遵循“概念論證”——“關(guān)鍵技術(shù)驗(yàn)證”——“方案驗(yàn)證”——“原理樣機(jī)”——“工程樣機(jī)”——“產(chǎn)品樣機(jī)”——“產(chǎn)品”的技術(shù)路線(xiàn)，才能真正掌握技術(shù)，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。
這一技術(shù)路線(xiàn)耗時(shí)之長(zhǎng)、成本之高、風(fēng)險(xiǎn)之大，他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周?chē)说某靶Α．?dāng)時(shí)在微流量測(cè)量領(lǐng)域擺在研發(fā)團(tuán)隊(duì)面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學(xué)原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場(chǎng)，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國(guó)內(nèi)一直無(wú)法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計(jì)，其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝極為復(fù)雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計(jì)的國(guó)際頂級(jí)廠(chǎng)商也望而卻步。幾十年來(lái)，全球范圍內(nèi)唯一取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國(guó)公司，但離實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離。
最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟，發(fā)展空間趨于飽和，在充分調(diào)研后，這群80后“初生牛犢”選擇了更加先進(jìn)，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間，但技術(shù)門(mén)檻更高的層流質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)路線(xiàn)，開(kāi)始專(zhuān)注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器”的研發(fā)。
獨(dú)立自主：攻克核心，成就中國(guó)第一
毫不夸張地說(shuō)，一個(gè)國(guó)家微流體測(cè)控水平的高低，決定著高端制造業(yè)水平的高低。小微流量測(cè)控領(lǐng)域通常測(cè)量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過(guò)9個(gè)數(shù)量級(jí)，而每次精確測(cè)量響應(yīng)速度要小于0.01s，并保證連續(xù)兩次測(cè)量的相對(duì)誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知。
易度團(tuán)隊(duì)歷時(shí)七年苦心孤詣的研究，從2013年第一款層流傳感器原理驗(yàn)證機(jī)的誕生，到2014年第一代控制板原理驗(yàn)證機(jī)的研發(fā)，2015年底第一臺(tái)層流質(zhì)量流量計(jì)工程樣機(jī)的研發(fā)成功，一直到2017年6月，第一代層流質(zhì)量流量計(jì)的問(wèn)世，2018年底順利通過(guò)國(guó)家計(jì)量院的型式評(píng)價(jià)認(rèn)證。這其中沒(méi)有現(xiàn)成的經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，所有的工作都要從零開(kāi)始，一遍一遍地設(shè)計(jì)，一次一次地試驗(yàn)，失敗了，重新開(kāi)始，不完美，重新改進(jìn)，研發(fā)過(guò)程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持了下來(lái)，啃下了一個(gè)個(gè)硬骨頭，并掌握了這項(xiàng)核心技術(shù)，成就了今天的產(chǎn)品。
目前該項(xiàng)技術(shù)已獲國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利兩項(xiàng)，同時(shí)在全球PCT檢索中具有新穎性。在國(guó)內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測(cè)控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過(guò)國(guó)家最高權(quán)威機(jī)構(gòu)的驗(yàn)證，成為中國(guó)首家通過(guò)認(rèn)證的通用型層流質(zhì)量流量計(jì)生產(chǎn)商。
永無(wú)止境：高效專(zhuān)注 增添中國(guó)力量
易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器，不僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體和液體質(zhì)量流量的測(cè)量，還能精準(zhǔn)控制，是國(guó)內(nèi)第一款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次技術(shù)改進(jìn)，產(chǎn)品正日趨成熟，實(shí)現(xiàn)了在-20℃到70℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級(jí)以?xún)?nèi)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到0.01S。
聚焦用戶(hù)過(guò)程控制，半導(dǎo)體300多項(xiàng)關(guān)鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)等超過(guò)70%的工藝項(xiàng)點(diǎn)都與微流量測(cè)量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過(guò)程中，最常用的方法增強(qiáng)等離子的化學(xué)氣相沉積，也需要精準(zhǔn)配給氣體和液體；等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)作為未來(lái)航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測(cè)試環(huán)節(jié)，需要精確測(cè)量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測(cè)試工藝。
近五年，全球微流量測(cè)量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長(zhǎng)，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興高端制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細(xì)化的制造工藝對(duì)微流量測(cè)量控制儀器提出了更高要求。在當(dāng)前國(guó)家大力發(fā)展高端制造業(yè)的背景下，易度儀器有責(zé)任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專(zhuān)注流體測(cè)控領(lǐng)域，解決微流量測(cè)控領(lǐng)域難題。
